按照SEMI的猜测，2019年中国半导体装备的贩卖额将达125亿美圆。半导体财产的第三次转移，和政策情况的利好，让中国半导体装备厂商有了更好的开展泥土。从今朝的状况来看，中国半导体装备厂商前十都有哪些企业？

　　12月12日，据中国地域《经济日报》报导，国际半导体财产协会（SEMI）今天公布陈述指出，本年环球半导体装备贩卖金额将达621亿美圆，年增加率为9.2%，逾越客岁的566亿美圆，再创汗青新高。

　　此中，韩国本年持续第二年景为环球最大装备市场，中国本年采购半导体装备金额正式挤下中国，成为环球第二大市场。SEMI预估，2019年中国半导体装备贩卖将达125亿美圆。

　　半导体财产之风已至，政策情况利好海内半导体装备企业。上面，跟从芯师爷一同盘货中国十泰半导体装备厂商（排名不分前后）。

　　中电科电子配备团体有限公司（以下简称“公司”）建立于2013年，是在中国电子科技团体公司2所、45所、48所根底上组建建立的二级成员单元，属中国电子科技团体公司独资公司，注册资金21亿元，注册地为北京市丰台科技园。

　　公司是我国以集成电路制作配备、新型平板显现配备、光伏新能源配备和太阳能光伏财产为主的科研消费主干单元，具有集成电路部分成套和体系集成才能和光伏太阳能财产链整线交钥匙才能。多年来，操纵本身薄弱的科研手艺和人材劣势，构成了以光刻机、平展化配备（CMP）、离子注入机、电化学堆积装备（ECD）等为代表的微电子工艺装备研讨开辟与消费制作系统，涵盖质料加工、芯片制作、先辈封装和测试检测等多个范畴；经由过程了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等质量办理系统与国际认证。具有国度光伏配备工程手艺研讨中间、国防科技产业军用微组装手艺研讨使用中间、国防科技产业有源层优化发展手艺研讨使用中间等国度级研发基地。

　　离子注入机是集成电路制作中心配备之一，是不成或缺的搀杂工艺装备，次要用于构成PN结等集成电路根本单位。在手艺打破方面，前后打破中束流、低能大束流和高能离子注入机系列配备高品格离子束引出、束流平均性掌握、束流能量掌握、能量和金属净化掌握等枢纽手艺，受权创造专利101项、国际专利2项。

　　在功效使用方面，首台使用于中芯国际量产晶圆过百万片的高端国产配备，首台使用于量子通讯范畴量子位制备的国产离子注入机。中束流、低能大束流浪子注入机产线nm等工艺节点平台支持具有契合SEMI尺度的财产化平台，具有年产50台的才能。

　　CMP是集成电路制作中心配备之一，是铜互连工艺不成或缺的装备，次要操纵抛光液化学腐化和抛光垫机机器磨擦的综合均衡感化，对晶圆外表质料停止原子级精密去除。在手艺打破方面，打破8英寸、12英寸CMP装备抛秃顶承载器、抛光区压力掌握、在线重点检测等六大中心手艺。受权创造专利42项，申请国际专利5项。

　　在功效使用方面，海内首台具有自立常识产权的8英寸CMP商用机，进入中芯国际（天津）大消费工艺线查核考证，弥补了海内空缺。12英寸CMP装备样机进入联调阶段。为军用太赫兹、CPU等特种元件制作供给CMP装备十余台。平台支持具有北京市化学平展化工艺装备工程手艺研讨中间，具有CMP装备及工艺研发，小批量消费前提。

　　湿法工艺装备是集成电路消费线用量最多的枢纽装备之一，占制作工序总量的20%-30%。在手艺打破方面，打破了工艺顺应性和化学液温度、浓度、平均性等工艺参数掌握手艺难点，构成了笼盖4-12英寸的晶圆槽式批处置、单晶圆湿法处置、晶圆级电化学镀制等装备产物系列。

　　在功效使用方面，产物在集成电路、功率半导体、半导体照明、电子级硅料等范畴普遍使用。平台支持具有湿法工艺装备尝试室，具有年产1000台（套）以上的才能。

　　浙江晶盛电机股分有限公司创立于2006年12月，是一家以“开展绿色智能高科技制作财产”为任务的高端半导体配备和LED衬底质料制作的高新手艺企业。公司于2012年5月在创业板上市，部属9家子公司，3个研发中间，此中一个外洋研发中间，具有产业4.0标的目的的省级重点研讨院、省级晶体配备研讨院等研讨平台、博士后事情站。

　　公司以手艺立异作为连续开展的动力源泉。接踵开辟出具有完整自立常识产权的全主动单晶炉、多晶铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石炉，胜利开辟并贩卖多种光伏智能化配备，并规划高效光伏电池和组件等其他配备的研发，勤奋打造光伏财产链配备最齐备、手艺最强的配备龙头企业。

　　在半导体财产完成8-12英寸大硅片制作用晶体发展及中心加工配备的国产化；胜利把握国际抢先的超大尺寸300kg、450kg级蓝宝石晶体发展手艺，蓝宝石质料营业具有较强的本钱合作力并逐渐构成范围劣势；在产业4.0标的目的，公司为光伏财产、半导体财产和LED财产供给智能化工场处理计划，满意了客户对“收集化+智能制作”“机械换人”的消费手艺需求。

　　ABS812-ZJS型半导体单晶硅截断机是一款针对大尺寸半导体单晶硅棒截断的公用加工装备，可加工硅棒直径兼容8”和12”，硅棒最大加工长度可达3300mm。该装备接纳带锯切割，具有截断、去头尾、切样片等功用，带锯切割具有切割服从高、断面质量好等特性。装备手艺具有国际先辈程度。

　　全主动晶体滚磨机是海内初创的一种全主动2-6英寸晶棒磨外圆、定向、磨平边复合加工的一体扮装备，该装备集成了本来需求三台差别加工功用装备完成的晶棒磨外圆、定向、磨平边等三道加工工序, 该装备可兼容多种半导体晶棒的加工，如：蓝宝石、单晶硅、碳化硅等。装备手艺具有国际先辈程度。

　　深圳市捷佳伟立异能源配备股分有限公司是一家高速开展的新能源配备研发制作企业。2003年，公司的前身创建于广东省深圳市。2018年8月10日，捷佳伟创公司在创业板胜利上市。公司在深圳坪山区在建六万多平方米产业园，在常州新北区自建三万多平方米产业园,员工总数超越1500人。

　　公司的产物包罗单/多晶制绒装备、管式分散氧化退火炉、湿法刻蚀装备、管式等离子体淀积炉、智能主动扮装备等五大产物系列。公司不只可觉得客户供给晶体硅高效电池消费装备，也供给晶体硅电池“交钥匙工程”体系处理计划和晶体硅电池智能制作车间体系。

　　全主动硅片上料机ZP-Ⅲ，次要用于将堆叠的硅片主动装入片篮中，并将片篮主动送入下一道工序利用。

　　北方华创科技团体股分有限公司（以下简称“北方华创”）是由北京七星华创电子股分有限公司（以下简称“七星电子”）和北京北方微电子基地装备工艺研讨中间有限义务公司计谋重组而成，是今朝海内集成电路高端工艺配备的抢先企业。

　　北方华创具有半导体配备、真空配备、新能源锂电配备及精细元器件四个奇迹群，为半导体、新能源、新质料等范畴供给处理计划。公司现有四大财产制作基地，营销效劳系统笼盖欧、美、亚等环球次要国度和地域。

　　此中金属刻蚀工艺模块用于停止金属刻蚀工艺，去胶模块用于去除金属刻蚀后的残存光刻胶和残存腐化性气体，冷却模块用于为晶圆降温，传输模块用于把硅片宁静而精确地传送到指定工位，电源柜用于为体系供给电源，掌握柜用于和谐调理各个模块的运转。NMC508M铝金属刻蚀机经由过程共同的腔室构造和温度掌握设想，供给优秀的颗粒掌握才能，保护便当，大幅提拔了装备的不变性、反复性和消费工艺程度。

　　NMC508C 8英寸等离子刻蚀机，是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，次要用于200mm硅片的多晶硅硅栅(poly gate)、浅沟槽断绝(STI)和硅的金属钨化物(WSix)刻蚀。NMC508C为多腔室集群装备(Cluster Tool)，它是一个全主动化的，可以停止串行或并行工艺处置的刻蚀体系。

　　该体系次要由工艺模块(Process Module)、传输模块(Transport Module)、电源柜(Remote AC Power Rack)和掌握柜(Control Rack)构成，此中工艺模块用于为硅片停止工艺供给情况，传输模块用于把硅片宁静而精确地传送到指定工位，电源柜用于为体系供给电源，掌握柜是装备团体的掌握中心，卖力和谐调理各个模块的运转。

　　中微半导体装备有限公司（简称“中微”），是一家面向环球的微观加工高端装备公司，为半导体行业及其他高科技范畴效劳。

　　中微总部位于亚洲，装备用于缔造天下上最为庞大、精细的手艺：细小的纳米器件为立异型产物供给智能和存储功用。中微曾经成为新型的微观加工高端装备公司，在进步手艺程度和消费服从方面获得了严重打破，而且博得了业内顶尖芯片制作商和其他手艺立异企业的信赖。

　　Primo AD-RIE™是中微公司用于流程前端（FEOL）及后端（BEOL）枢纽刻蚀使用的第二代电介质刻蚀装备，次要用于22纳米及以下的芯片晌蚀加工。基于前一代产物Primo D-RIE刻蚀装备已被业界承认的机能和优良的运转记载，Primo AD-RIE做了进一步的改良：接纳了具有自立常识产权的可切换低频的射频设想，优化了上电极气流散布及下电极温度调控的设想。

　　Primo AD-RIE曾经胜利经由过程了3000片晶片马拉松测试。除已证明其具有更良好的反复性及不变性之外，该产物还可将晶片上枢纽尺寸平均度掌握在2纳米内。

　　中微的8英寸硅通孔（TSV）刻蚀装备Primo TSV200E™构造松散且具有极高的消费率，可以使用于8英寸晶圆微电子器件、微电机体系、微电光器件等的封装。继中微第一代和第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀装备Primo D-RIE™ 和Primo AD-RIE™以后，中微TSV刻蚀装备的单元投资产出率比市场上其他同类装备进步了30%。

　　Primo TSV200E的中心在于它具有双反响台的反响器，既能够零丁加工单个晶圆片，又能够同时加工两个晶圆片。中微的这一TSV刻蚀装备可装置多达三个双反响台的反响器。与同类合作产物唯一单个反响台的装备比拟，中微TSV刻蚀装备的这一特性使晶圆片产出量近乎翻了一番，同时又低落了加工本钱。

　　别的，该装备具有的去耦合高密度等离子体源和偏置电压使它在高压形态下进步了刻蚀速度，并可以在全部工艺窗口中完成更高的灵敏度。中微具有自立常识产权的气体散布体系设想也进步了刻蚀速度和刻蚀的平均性，并在全部加工过程当中优化了工艺机能，射频脉冲偏置则有用削减了表面凹槽。

　　上海微电子配备(团体)股分有限公司(简称SMEE)于2002年在张江高科技园区正式建立。本年3月份，90nm光刻机项目经由过程正式验收。

　　SMEE次要努力于半导体配备、泛半导体配备、高端智能配备的开辟、设想、制作、贩卖及手艺效劳。公司装备普遍使用于集成电路前道、先辈封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制作范畴。

　　SSX600系列步进扫描投影光刻机接纳四倍减少倍率的投影物镜、工艺自顺应调焦调平手艺，和高速高精的自减振六自在度工件台掩模台手艺，可满意IC前道制作90nm、110nm、280nm枢纽层和非枢纽层的光刻工艺需求。该装备可用于8寸线寸线的大范围产业消费。

　　SWA系列是专为晶圆键合开辟的瞄准装备，用于键合工艺中的晶圆的瞄准。SWA瞄准装备可以满意各种通明、半通明、欠亨明基底的键合瞄准需求。

　　SWB系列是面向半导体工艺中的基底键合需求而开辟和量产的键合装备，使用范畴普遍，笼盖多种基底键合工艺的参数范畴，包罗有机胶黏键合、玻璃浆料键合、共晶键合、阳极键合等。

　　北京京运通科技股分有限公司（以下简称“公司”）建立于2002年8月8日，注书籍钱为199,529.7701万元群众币，是一家以高端配备制作、新质料、新能源发电和节能环保四大财产综合开展的团体化企业，主导产物包罗单晶硅发展炉、多晶硅铸锭炉、区熔炉等光伏及半导体装备，多晶硅锭及硅片、直拉单晶硅棒及硅片、区熔单晶硅棒及硅片等光伏产物，光伏发电微风力发电等新能源发电项目及蜂窝式中高温SCR烟气脱硝催化剂。

　　公司于2011年9月8日在上海证券买卖所胜利上市，2017年度，公司完成停业支出19.17亿元群众币，完成净利润3.70亿元群众币。停止2017年底，公司总资产134.51亿元群众币，净资产65.86亿元群众币。公司现具有57家全资子公司、4家控股子公司、1家参股子公司、1家分公司、4家全资孙公司和1家参股孙公司。公司共有员工1502人，此中大专及以上学历职员51.80%。

　　JZ-460/660（ G6热场）多晶硅铸锭炉使用定向固化手艺， 接纳垂直梯度定向结晶工艺，经由过程对加热器的温度停止准确掌握， 有用地掌握热量的输入和输出， 从而包管超卓的产物格量。 能够在较低的温度梯度下事情， 在70个小时阁下的工夫发展出800kg的硅锭。 在发展时期， 操纵隔热层的活动完成定向晶体发展， 在装料和取硅锭的过程当中， 只使用下炉室的起落方法， 该炉型单元能耗小于6.8kW.h/kg。尺度JZ-460/660（G5）炉型只需经由过程热场晋级即可完成G6炉型大投料量铸锭。

　　JZJ-G6多晶硅子锭检测主动扮装备是操纵机器手高低料辅佐检测装备停止检测，根本束缚劳动力，削减检测职员，进步服从，而且制止了在检测中野生搬料的磕碰，相对进步了产物的及格率。装备利用计较机画线削减了野生计较的毛病，并把检测数据天生电子文档主动统计节省统计职员劳动，制止了二次录入等反复性劳动。

　　操纵现有少子寿命检测机和红外探伤仪检测不再分外购置检测装备，低落装备附加本钱；整套装备占空中积小、便利灵敏、扩容便利合适老旧厂房东动化革新。通信接口灵敏，便利作为整套装备参与持续性消费线内部。

　　天通吉成机械手艺有限公司（简称TDG-MT）是天通股分旗下配备财产的全资子公司，次要营业是粉体质料、TVT体育最新晶体质料、显现质料三大行业公用装备的研发、制作、贩卖与效劳，营业范畴涵盖天通日进精细手艺有限公司、天通新情况手艺有限公司、浙江吉宏精细机器有限公司、湖南新天力科技有限公司等子公司。

　　公司努力于智能化公用装备的手艺研发和工艺效劳，竭诚为粉体质料行业供给“成型--烧结--磨削”等成套公用装备，为晶体质料行业供给“发展--截断--滚圆--切片--倒角--磨抛--洗濯--检测”等成套公用装备，为显现质料行业供给主动化成套公用装备，同时供给污泥干化机等情况工程公用装备。

　　研磨抛光机，次要用于硅，锗、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石等硬脆性质料建造的薄片零件的研磨、抛光。

　　本产物经由过程高低定盘的归正扭转，使工件在二者之间既做公转又做自转的行星活动，经由过程持续淌下的研磨剂，同时研磨工件两个端面。使之磨擦阻力小、受力平均、磨削精度和不变性好。 因为产物的研磨盘是耗损品，需求按期改换。故在设想时把横梁设想成可旋起色构，克制了研磨盘改换需求拆卸上研磨盘等成绩。

　　本产物把主气缸的高低气路环通，把气源供给的气公道的操纵起来，不形成任何华侈。该气路设想还经由过程比例阀完成中间加压历程。完成了该种机型一机两用的功用，既可研磨、也可抛光。

　　ACM研讨有限公司于1998年在硅谷建立，为半导体产业开辟湿法加工手艺和产物。公司为集成电路制作和晶圆级封装供给了一系列使用装备，出格存眷先辈半导体器件的干净手艺。

　　2006年9月，ACM将其营业扩大到亚洲，并建立了子公司，ACM研讨（上海）公司。ACM今朝在中国上海张江高科技园区具有完好的研发、工程和制作营业。2011年6月，该公司建立了第二家子公司，ACM研讨（无锡），以更好地效劳于该地域的客户。别的，先辈的效劳笼盖范畴还定位于环球各地的计谋所在，包罗北京、、韩国和美国，为环球客户供给天下级的撑持。

　　ACM基于手艺的晶圆洗濯体系：SAPSⅡ、SAPS V单一晶片，串行处置东西能够设置客户的规格。恰当的稀释可用于从晶片外表去除随机缺点或互连和前端芯片制作或收受接管测试晶圆金属化学屏蔽。分离ACM的先辈兆声洗濯和化学洗濯手艺，这些东西去除随机缺点比传统的晶圆洗濯历程更有用和服从。同时，还会增强历程的灵敏性和低落化学品耗损。

　　格兰达从1995年的机器加工和主动化安装、工装夹具营业起步，前后成立精细CNC加工、钣金加工、外表处置（喷涂、氧化）、点胶、模具压铸和电子组装等专业部分和团队。

　　2003年，格兰告竣立研发中间，在半导体封装装备、硬盘检测装备、主动扮装备、机器手集成使用装备和数控机床装备等范畴前后获得100多个创造专利和适用新型专利。

　　格兰达从建立之初在深圳福田租赁600平方米厂房起步，前后购买和建立深圳福田金谷办公室、深圳坪山配备财产园及江门数控配备财产园；并连续在香港、新加坡、上海、江门、美国等地设立公司或消费基地。